±â¼ú/Á¦Ç° ±â´É ¹× Ư¡ (»çÁøÆ÷ÇÔ) |
1) Quartz ware - °í¿Â ¾ÈÁ¤¼º, ³»ÈÇмº, ³»½Ä¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, žçÀüÁö »ê¾÷ÀÇ ÇٽɼÒÀç·Î È°¿ë
2) Silicon, SiC - ³»¸¶¸ð¼º, ³»ÈÇмº, ¿Àüµµµµ°¡ ¶Ù¾î³ª¸ç, ¹ÝµµÃ¼ Àüü °øÁ¤¿¡ Àû¿ë - ¹ÝµµÃ¼ Diffusion, Etch, CVD µîÀÇ °øÁ¤¿ë ºÎÇ°À¸·Î Àû¿ë
|