±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷°ú ȯ°æ¿¡¼ ÆÄ»ýÇÏ´Â ¹®Á¦¸¦ ¹ß°ßÇϰí, ±× ¿øÀÎÀ» ã¾Æ ±Ô¸í, °³¼±ÇÏ¿© ǰÁúÀ» ³ôÀÌ·Á´Â ³ë·ÂÀÌ È°¹ßÇØ Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÈñ Çѱ¹ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò(PKoLAB)´Â ¹Ì¼¼ÀÔÀÚ°¡ ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷°ú ȯ°æ¿¡ ¾î¶² ¿µÇâÀ» ÁÖ°í, ¾î¶»°Ô ÀÌ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÒ °ÍÀÎÁö¿¡ ´ëÇÑ °í¹Î¿¡¼ ½ÃÀ۵Ǿú½À´Ï´Ù.
»ê¾÷¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â 5~100um Å©±âÀÇ ¹Ì¼¼ÀÔÀÚ(Microparticle)´Â Å« Å©±âÀÇ ÀÔÀÚº¸´Ù Á¦Ç°ÀÇ Ç°Áú, ȯ°æ¿À¿°°ú ÀηùÀÇ °Ç°¿¡ ÈξÀ ´õ Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä¥ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ÀÔÀÚµéÀÇ ÇüÅÂ¿Í Å©±â, °¹¼ö, ¼ººÐ ºÐ·ù¿¡ °ü½ÉÀÌ ´õ ÁýÁߵǰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀüÅëÀûÀÎ ÀÔÀںм®¹æ¹ýÀº ¹«°Ô¸¦ Àç´Â Áú·®¹ý, ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Å©±â ¹× °¹¼ö ÃøÁ¤, ¶Ç´Â ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Å©±â¿Í ÇüÅÂ ÃøÁ¤À̾úÁö¸¸, ÀÔÀÚº° ¼ººÐÀ» ¾Ë ¼ö ¾ø´Ù´Â ÇѰ谡 Á¸ÀçÇß½À´Ï´Ù.
ÀúÈñ Çѱ¹ ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò¿¡¼´Â ÀÌ·¯ÇÑ ÀÔÀÚ ºÐ¼®ÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ÀüÀÚÇö¹Ì°æ (Scanning Electron Microscope, SEM)°ú EDS ¼ººÐºÐ¼®±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÔÀÚº° Å©±â, ÇüÅÂ, °¹¼ö, ¼ººÐ±îÁöµµ ¾Ë ¼ö ÀÖµµ·Ï »õ·Î¿î ºÐ¼®±â¹ýÀ» ¼Ò°³Çϰí, »ê¾÷º° ¸ÂÃ㠺м®¹æ¹ýÀ» ¹ßÀü½Ã۰í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Çѱ¹ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò¿¡¼ º¸À¯Çϰí ÀÖ´Â ¹Ì¼¼ÀÔÀÚ ºÐ¼®À» À§ÇÑ ¹æ´ëÇÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ È¯°æ¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ ¹Ì¼¼ÀÔÀÚ¸¦ ISO ±¹Á¦±Ô°Ý¿¡ ¸Â°Ô ½Ã·á¸¦ äÃë, Àüó¸®, ºÐ¼®, ·¹Æ÷Æ®¸¦ °í°´¿¡ Á¦°øÇÏ¿©, Á¦Ç° ǰÁú ¹× ȯ°æ¿À¿°ÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Å°´Â ¹Ì¼¼ÀÔÀÚ°¡ ¾î¶² °úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇß°í, ¾î¶»°Ô °³¼±ÇÒ °ÍÀÎÁö¿¡ ´ëÇÑ ÇØ´äÀ» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇϰڽÀ´Ï´Ù.
´ëÇѹα¹ ´ëÇ¥ ÀÔÀںм®¼Ö·ç¼Ç ±â¾÷, Çѱ¹ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò°¡ ´ëÇѹα¹ ±¹°¡»ê¾÷ ¹× ȯ°æ¿À¿° °³¼±¿¡ À̹ÙÁö ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¸¹Àº °ü½É°ú ¼º¿ø ºÎʵ叮°Ú½À´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù. |
ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM) : 10³â ÀÌ»ó ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ º£Å×¶ûµé·Î ±¸¼ºµÈ(À¯)Çѱ¹ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò´Â ¼¼°èÀûÀÎ 1À§ ¿¬±¸ Àåºñ Àü¹® ±â¾÷ ThermofisherScientificÞäÀÇDesktop SEM(Mini SEM)°ú Normal SEMÀ» Á¦°øÇص帮°í ÀÖÀ¸¸ç Àåºñ ±¸¸Å ÈÄ À¯Áöº¸¼ö¿¡ ´ëÇÑ A/S±îÁö Áö¿øÇص帮°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸¼Ò, ±â¾÷üºÐµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î °í°´µéÀÇ Æ¯º°ÇÑ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·½Ã۱â À§ÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ Çǵå¹éÀ» Á¦°øÇϸç ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ ¿Ïº®ÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇØ µå¸®°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
½ÃÆí Àüó¸® Àåºñ(Ion coater, Particle dispensor) : ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¼®À» À§Çؼ ÀûÀçÀû¼Ò¿¡ ¸Â´Â ½Ã·á Áغñ¸¦ À§ÇÑ ½ÃÆí Àüó¸® Àåºñ¸¦ Á¦°øÇص帮°íÀÖ½À´Ï´Ù. SEM,FIB,TEM,EDS,WDS,EBSDµî Á¤È®ÇÑ ºÐ¼®À» À§Çؼ´Â ½Ã·áÀÇ ÄÚÆÃ»óŰ¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. 25³âÀÌ»óÀÇ Áø°ø ¹× ¹Ú¸· ÄÚÆÃ ±â¼ú °æÇèÀ» º¸À¯ÇÑ ¿µ±¹ÀÇ VaccoatÞäÀÇ Ion coater¸¦ Á¦°øÇص帮°í Àåºñ ±¸¸Å ÈÄ À¯Áöº¸¼ö¿¡ ´ëÇÑ A/S±îÁö Áö¿øÇص帮°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀÔÀÚ ºÐ¼®¿¡ Á¤È®ÇÑ ºÐ¼®À» À§ÇÏ¿© ÀÔÀڵ鰣ÀÇ ÀÀÁýÀ» Á¦°ÅÇÏ°í ºÐ»êÀ» ÇØÁÖ´Â ÀÔÀںлê±âµµ Á¦°øÇصå·Á Á¤È®ÇÑ ÀÔµµºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇØÁý´Ï´Ù.
ºÐ¼® ¼ºñ½º(SEM-EDS, ÀÔÀںм®, ³í¹® ¹× Æ÷½ºÅÍ¿ë µ¥ÀÌÅÍ) : (À¯)Çѱ¹ÀÔÀںм®¿¬±¸¼Ò´Â Àåºñ°ø±Þ¾÷ü¸¦ ³Ñ¾î ºÐ¼® ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â ¸àÅä·Î¼ ApplicationLAB ºÐ¼® ¼¾Å͸¦ ¿î¿µÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿¬±¸Á¾»çÀÚ ¹× ǰÁú °ü¸® Á¾»çÀںеéÀ» À§ÇÏ¿© ºÐ¼®¼¾ÅÍ¿¡¼´Â Desk top SEM(Mini SEM)°ú Normal SEM, ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ, µðÁöÅÐÇö¹Ì°æ, À̿¹иµÀåºñ(Ion miling system)À» ¿î¿ëÇÏ¿© ±â¾÷ ¹× Á¤ºÎ°úÁ¦¿¡ ´ëÇÑ ºÐ¼®Áö¿ø°ú ¿¬ 10ȸ ÀÌ»óÀÇ Á¤±â±³À°À¸·Î ºÐ¼®¿¡ ´ëÇÑ ÄÁ¼³ÆÃÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. |