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1. 기술 - 균일한 코팅층 형성 및 두께 조절 가능: 침투력이 뛰어나 미세한 틈, 홀 내부에도 균일한 코팅 가능,필요 시 코팅층 두께 제어 가능 - ■ [장치
사이즈]
760(W) × 870(D) × 1,450(H)
(mm) (콜드트랩
포함) ■ [챔버 사이즈]
300ø × 300(H) ■ [전력] 1ø
220V, 60Hz, 5KW ■ [시스템
제어]
Touch Screen & PLC Module을
이용한 자동 제어 ■ [공정 제어] 진공도 제어 방식, 시간/온도 기반 제어 방식 지원 ■ [레시피 제공] Parylene C,N,F,HT, Pre-Coating 제공 ■ 리크 테스트 기능 제공 ■ 공정데이터
이력 관리 기능(CSV 파일)
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